图

2 多晶硅锭

　　

6.冷却

　　硅锭在炉内退火后，关闭加热功率，提升隔热装置或者完全下降硅锭，炉内通入大
流量氩气，使硅锭温度逐渐降低至室温附近；同时，炉内气压逐渐上升，直至达到大气
压，该过程约要

10h。