简介:现有单晶硅片是由长方体晶锭在多线切割错锯切成一片片单晶硅方片,由于切片是铜丝在金刚砂溶液作用下多次往返削切成硅片,金刚砂硬度很高,会在硅片表面带来一定的机械损伤层,如果机械损伤层不去掉,会影响太阳电池的填充因子。
文档关键字: 高效单晶硅电池,光刻法,成本
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简介:硅片采用0.5~2Ω.cm,P型晶向为(100)的单晶硅片。利用氢氧化钠溶液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的特点来制备绒面。
文档关键字: 工艺流程,绒面制备,电池片测试
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简介:本文针对目前国内在太阳能电池行业使用管式PECVD沉积氮化硅减反射膜时为了实现均匀性而随意调整工艺气体流量而做出实验性分析,避免在工艺过程中发现电池转换效率下降了而难以找到原因。
文档关键字: 技术指标,测量分析,电池转换效率
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简介:扩散部按车间划分主要由扩散区域及注入区域组成,其中扩散区域又分扩散老区和扩散新区。扩散区域按工艺分,主要有热氧化、扩散、LPCVD、合金、清洗、沾污测试等六大工艺。
文档关键字: 扩散区域,氧化工艺,扩散工艺
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简介:磷吸杂在晶体管芯片制造过程中对改善芯片表面态、减少漏电流等起着重要作用。文中确定了方块电阻为6-8Ω/□(欧姆/方块)的磷吸杂工艺条件,并对过程的相关影响因素进行分析和探讨,同时提出了解决方法。
文档关键字: 磷吸杂,晶体管,芯片制造
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简介:全自动单晶制绒设备1#预清洗槽,2#、6#QDR槽,3#、4#、5#制绒槽,7#混酸槽,8#OF清洗槽,9#慢提拉槽。
文档关键字: 单晶制绒设备,设备操作,配液
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简介:三氯硅烷(HSiCl3)是一种重要的高附加值原料,主要用作半导体工业中制造超纯多晶硅和高纯硅烷的原料及外延生长的硅源。
文档关键字: 三氯硅烷,反应速率,生产工艺
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简介:改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。
文档关键字: 太阳能级多晶硅,硅烷法,流化床法
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简介:规范丝网印刷和烧结端工艺的操作,为及时、准确和快速的解决问题提供指导。
文档关键字: 工艺手册,烧结工艺,印刷调试
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简介:近年来,太阳能电池片生产技术不断进步,生产成本不断降低,转换效率不断提高,使光伏发电的应用日益普及并迅猛发展,逐渐成为电力供应的重要来源。
文档关键字: 太阳能电池片,检测分装,电池片生产
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