您好,欢迎来到一览文库!找行业资料上一览文库!
一览( 微信公众号:yilanshequ )

一览( 微信公众号:yilanshequ )

打开微信扫一扫,即可直接关注

收藏我们 | 登录 | 注册
当前位置:一览文库> 电气电力 > 光伏 > 工艺工程师/工艺员 > 磷吸杂工艺研究
磷吸杂工艺研究

磷吸杂工艺研究

一览通:免费获取520份薪酬绩效文档

级别:| 积分:0 分 | 浏览:73575 | 大小:120.50KB | 下载:4069 次 | 上传:2013-10-14

简介:

磷吸杂在晶体管芯片制造过程中对改善芯片表面态、减少漏电流等起着重要作用。文中确定了方块电阻为6-8Ω/□(欧姆/方块)的磷吸杂工艺条件,并对过程的相关影响因素进行分析和探讨,同时提出了解决方法。

[展开]
         
下载文档到电脑,查找使用更方便
需0积分下载

猜你喜欢

收藏 下载此文档 所需积分:0分