简介:磷吸杂在晶体管芯片制造过程中对改善芯片表面态、减少漏电流等起着重要作用。文中确定了方块电阻为6-8Ω/□(欧姆/方块)的磷吸杂工艺条件,并对过程的相关影响因素进行分析和探讨,同时提出了解决方法。
文档关键字: 磷吸杂,晶体管,芯片制造
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简介:全自动单晶制绒设备1#预清洗槽,2#、6#QDR槽,3#、4#、5#制绒槽,7#混酸槽,8#OF清洗槽,9#慢提拉槽。
文档关键字: 单晶制绒设备,设备操作,配液
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简介:三氯硅烷(HSiCl3)是一种重要的高附加值原料,主要用作半导体工业中制造超纯多晶硅和高纯硅烷的原料及外延生长的硅源。
文档关键字: 三氯硅烷,反应速率,生产工艺
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简介:改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。
文档关键字: 太阳能级多晶硅,硅烷法,流化床法
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简介:规范丝网印刷和烧结端工艺的操作,为及时、准确和快速的解决问题提供指导。
文档关键字: 工艺手册,烧结工艺,印刷调试
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简介:近年来,太阳能电池片生产技术不断进步,生产成本不断降低,转换效率不断提高,使光伏发电的应用日益普及并迅猛发展,逐渐成为电力供应的重要来源。
文档关键字: 太阳能电池片,检测分装,电池片生产
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简介:太阳能电池生产工艺一般分为:扩散前清洗、扩散、扩散后清洗、刻蚀、PECVD,丝网印刷,烧结,分类检测和封装。
文档关键字: 组件生产,制绒工艺,洁净要求
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简介:决定晶硅太阳能光伏电池效能的因素为与光能转化效率有关的各种变因,最重要的决定因素为光电组件中的晶硅技术,其次为保护光电组件中的光伏玻璃,由于晶硅无法长时间暴露于外界环境中,光伏玻璃是目前保护晶硅且自身透光率较高的最佳材料之一,因..
文档关键字: 光伏玻璃,光学特性,转换率
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简介:电池测试:由于电池片制作条件的随机性,生产出来的电池性能不尽相同,所以为了有效的将性能一致或相近的电池组合在一起,所以应根据其性能参数进行分类。
文档关键字: 电池测试,电池利用率,电池组件
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简介:烧结就是把印刷到硅片上的电极在高温下烧结成电池片,最终使电极和硅片本身形成欧姆接触,从而提高电池片的开路电压和填充因子2个关键因素参数,使电极的接触具有电阻特性,达到生产高转效率电池片的目的.
文档关键字: 烧结方式,烧结过程,加热方式
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