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76_2mm无位错FZ硅单晶的两种工艺热场分析

76_2mm无位错FZ硅单晶的两种工艺热场分析

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简介:

对国产设备试制及生产5> 7612mm无位错FZ硅单晶的两种最为稳定的工艺热场作了较全面的分析总结。

         
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