您好,欢迎来到一览监理文库!找监理资料上一览监理文库!
一览( 微信公众号:yilanshequ )

一览( 微信公众号:yilanshequ )

打开微信扫一扫,即可直接关注

收藏我们 | 登录 | 注册
当前位置:一览文库> 电气电力 > 光伏 > 氮化硅薄膜对硅片背表面的钝化作用
氮化硅薄膜对硅片背表面的钝化作用

氮化硅薄膜对硅片背表面的钝化作用

一览通:免费获取520份薪酬绩效文档

级别:| 积分:0 分 | 浏览:73854 | 大小:167.50KB | 下载:4077 次 | 上传:2013-10-22

简介:

采用等离子体增强化学沉积的方法(PECVD),在低衬体温度下制备不同厚度的双面氮化硅薄膜,通过准稳态电导法(QSSPCD)测试non2diffused和diffused硅片沉积不同厚度双面氮化硅薄膜烧结前后的少子寿命。

[展开]
         
下载文档到电脑,查找使用更方便
需0积分下载

猜你喜欢

收藏 下载此文档 所需积分:0分