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薄膜的物理气相沉积

薄膜的物理气相沉积

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级别:| 积分:60 分 | 浏览:74729 | 大小:1.02MB | 下载:4129 次 | 上传:2013-09-05

简介:

物理气相沉积Physical Vapor Deposition(PVD): 利用某种物理的过程(如热蒸发和溅射),实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移的过程。

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