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磷吸杂工艺研究

磷吸杂工艺研究

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:73845 | 大小:120.50KB | 下载:4084 次 | 上传:2013-10-14

简介:

磷吸杂在晶体管芯片制造过程中对改善芯片表面态、减少漏电流等起着重要作用。文中确定了方块电阻为6-8Ω/□(欧姆/方块)的磷吸杂工艺条件,并对过程的相关影响因素进行分析和探讨,同时提出了解决方法。

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