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衬底对薄膜光学特性的研究

衬底对薄膜光学特性的研究

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级别:| 积分:60 分 | 浏览:71004 | 大小:16.50KB | 下载:3935 次 | 上传:2014-03-17

简介:

本文采用PECVD法制备非晶硅薄膜,采用了氮化硅、氧化硅、单晶硅和铂四种衬底,研究在不同衬底上制备的非晶硅薄膜的光学特性。

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