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AZO透明导电薄膜的制备技术及应用进展

AZO透明导电薄膜的制备技术及应用进展

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:69469 | 大小:27.00KB | 下载:3838 次 | 上传:2013-10-22

简介:

本文概述了国内外AZO透明导电薄膜的多种制备技术和开发应用进展,详细介绍了磁控溅射、溶胶--凝胶、脉冲激光沉积、真空蒸镀、化学气相沉积等工艺在AZO薄膜制备中的研究现状,并且分析了AZO膜的优良性能,指出AZO薄膜的产业化前景看好。

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