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薄膜技术的发展和应用

薄膜技术的发展和应用

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:65321 | 大小:795.18KB | 下载:3617 次 | 上传:2014-12-30

简介:

有人认为最近十年薄膜 技术 的迅速发展主要是 由于以下 四 个领域取 得 了进展 : 1.工业上 应用领域逐步 扩大, 用量 迅速增加 ; 2.新 的分 析检 测技 术的 进步; 3.改 进 了薄 膜工艺 的监测和 控制 ; 4. 薄膜 工 艺的逐步定 型。

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