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薄膜沉积技术

薄膜沉积技术

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级别:| 积分:200 分 | 浏览:79095 | 大小:856.00KB | 下载:4721 次 | 上传:2013-03-22

简介:

第一章 清洗芯片及湿式蚀刻; 第二章 微影技术; 第三章 氧化技术; 第四章 扩散技术; 第五章 金属镀膜; 第六章 真空技术; 第七章 薄膜沉积技术;

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