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太阳能电池刻蚀工艺介绍和方法

太阳能电池刻蚀工艺介绍和方法

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:79097 | 大小:23.50KB | 下载:4651 次 | 上传:2013-03-22

简介:

 刻蚀,英文为Etch,它是半导体制造工艺,微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。是与光刻相联系的图形化(pattern)处理的一种主要工艺。所谓刻蚀,实际上狭义理解就是光刻腐蚀,先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理,然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。随着微制造工艺的发展;广义上来讲,刻蚀成了通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称,成为微加工制造的一种普适叫法。

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