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直线电机气浮精密平台的设计与控制

直线电机气浮精密平台的设计与控制

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:78485 | 大小:831.57KB | 下载:4746 次 | 上传:2013-05-14

简介:

高精度综合测量仪在工作中要求达到亚微米级的运动精度, 为此建立了X Z 直线电机气浮精密运动平台, 对气浮导轨..

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