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薄膜制备新技术及其应用研究

薄膜制备新技术及其应用研究

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级别:| 积分:60 分 | 浏览:74080 | 大小:328.79KB | 下载:5358 次 | 上传:2013-03-22

简介:

综述了近几年国内外在薄膜制备技术方面的研究进展,着重比较了蒸发沉积、溅射沉积、激光沉积、CVD、MBE和Sol2Gel 等技术的优缺点,分析了这些技术在薄膜制备中应用前景。

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