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薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用

薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:51228 | 大小:169.00KB | 下载:2834 次 | 上传:2013-10-22

简介:

采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在相对较高气压和较高功率条件下,制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料。

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