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基于PMAC的直线电机PID研究

基于PMAC的直线电机PID研究

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级别:| 积分:100 分 | 浏览:72550 | 大小:499.32KB | 下载:5097 次 | 上传:2013-05-14

简介:

本文介绍了PMAC 运动控制器及直线电机原理,着重讲述基于PMAC 控制器的直线电机PID 调节,并提出了PID+ 前馈控制法对直线电机进行控制。该方法应用于光刻机控制系统中,并已投入现代工业。

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