低应力PECVD氮化硅薄膜的制备
简介：研究了等离子增强化学气相淀积(PECVD)工艺中射频条件(功率和频率)对氮化硅薄膜应力的影响。对于不同射频条件下薄膜的测试结果表明:低频(LF)时氮化硅薄膜处于压应力,高频(HF)时处于张应力,且相同功率时低频的沉积速率和应力分别为高频时的两倍左右。
文档关键字： PECVD,射频,混频,氮化硅,应力
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非晶硅太阳电池减反射膜的设计
简介：基于非晶硅太阳电池的工作原理，对其减反射膜进行研究．根据四分之一波长作用原理得到反射率最小时的厚度优化参数．
文档关键字： 非晶硅,减反射膜,反射率
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薄膜硅太阳能电池的研究状况
简介：薄膜硅太阳能电池具有广阔的前景，但是当前大规模产业化的非晶硅薄膜电池效率偏低，为了实现光伏发电平价上网，必须对薄膜硅太阳能电池进行持续的研究。
文档关键字： 薄膜硅,电池效率,生产成本
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非晶硅薄膜太阳能电池应用分析
简介：介绍非晶硅薄膜太阳能电池,分析其光致衰退效应与影响光电性能的各种因素。总结并展望了优化非晶硅太阳能电池的各种技术。
文档关键字： 非晶硅薄膜,光致衰退效应,界面态,太阳能电池
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多晶硅薄膜的制备方法
简介：多晶硅薄膜材料同时具有单晶硅材料的高迁移率及非晶硅材料的可大面积、低成本制备的优点。
文档关键字： 薄膜材料,高温工艺,多晶硅薄膜
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AZO透明导电薄膜的制备技术及应用进展
简介：本文概述了国内外AZO透明导电薄膜的多种制备技术和开发应用进展，详细介绍了磁控溅射、溶胶--凝胶、脉冲激光沉积、真空蒸镀、化学气相沉积等工艺在AZO薄膜制备中的研究现状，并且分析了AZO膜的优良性能，指出AZO薄膜的产业化前景看好。
文档关键字： 薄膜制备技术,导电薄膜,光电特性
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薄膜电池组件的基本发展、性能优化及几点思考
简介：如今，越来越多的薄膜电池生产商要么在电池成本上极力追赶行业领先者，要么在组件设计上争取独树一帜。而Calyxo公司则致力于双管齐下的发展，即在将电池成本降至0.50美元/Wp水平的同时，引入新一代电池组件设计，以为客户带来更多的效益。
文档关键字： 沉积技术,电池组件,薄膜电池
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氮化硅薄膜对硅片背表面的钝化作用
简介：采用等离子体增强化学沉积的方法(PECVD),在低衬体温度下制备不同厚度的双面氮化硅薄膜,通过准稳态电导法(QSSPCD)测试non2diffused和diffused硅片沉积不同厚度双面氮化硅薄膜烧结前后的少子寿命。
文档关键字： 背面钝化,氮化硅,少子寿命
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两步法制备CIGS薄膜的工艺研究
简介：本文主要研及究了"预制层硒化法"制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜的工艺。采用磁控溅射的方式制备In、Cu．Ga金属预制层，然后进行硒化（450℃）及退火处理(550℃)。
文档关键字： 预制层硒化法,退火,金属预制层
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CIGS薄膜太阳能电池缓冲层的研究及其发展
简介：本论述简要介绍了CIGS薄膜太阳能电池缓冲层的发展，重点阐述了CdS和ZnS缓冲层的研究现状，指出缓冲层的制备工艺上以化学水浴法居多，从成膜机理到工艺参数的优化都做了充分的研究，对真空蒸发法的制备工艺研究则相对较少，而且大部分都集中在蒸发..
文档关键字： 薄膜电池,缓冲层,CdS薄膜
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