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两步法制备CIGS薄膜的工艺研究

两步法制备CIGS薄膜的工艺研究

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:72882 | 大小:595.00KB | 下载:4033 次 | 上传:2013-10-22

简介:

本文主要研及究了"预制层硒化法"制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜的工艺。采用磁控溅射的方式制备In、Cu.Ga金属预制层,然后进行硒化(450℃)及退火处理(550℃)。

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