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薄膜的物理气相沉积(一)-蒸发法

薄膜的物理气相沉积(一)-蒸发法

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级别:| 积分:100 分 | 浏览:74685 | 大小:1.40MB | 下载:4130 次 | 上传:2013-09-05

简介:

在真空环境下,给待蒸发物质提供足够的热量以获得蒸发所必须的蒸汽压,在适当的温度下,蒸发粒子在基片上凝结形成薄膜。

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