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硅片切削液废砂浆回收处理技术

硅片切削液废砂浆回收处理技术

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:74126 | 大小:104.50KB | 下载:4089 次 | 上传:2013-10-18

简介:

我公司在借鉴砂浆在线回收系统经验的基础上,成功地对线切割工艺硅片加工所产生的废砂浆进行处理,回收其中的切削液和碳化硅微粉,返回到线切割机重新使用。

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