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电机设备总体结构及其运行概述

电机设备总体结构及其运行概述

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:70921 | 大小:27.50KB | 下载:5257 次 | 上传:2013-07-30

简介:

近年来,随着微/纳米技术的迅猛发展,对驱动精度的要求在纳米级的水平。在光学工程、微电子制造、航空航天、超精密机械制造、微机器人操作、地震测量、生物、医学及遗传工程等技术领域的研究都迫切需要亚微米级、微/纳米级的超精密驱动,因此,各种微特电机得到了快速的发展。

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