简介:真空蒸镀法; 蒸发分子的碰撞几率和平均自由程; 蒸发物质的形态; 特殊的蒸发; 瞬时蒸发法; 无机化合物的蒸发; 溅射法; 辉光放电和溅射现象; 溅射率;
文档关键字: 薄膜的制作方法,膜厚的测试,薄膜,膜厚
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简介:第一章 清洗芯片及湿式蚀刻; 第二章 微影技术; 第三章 氧化技术; 第四章 扩散技术; 第五章 金属镀膜; 第六章 真空技术; 第七章 薄膜沉积技术;
文档关键字: 薄膜沉积技术,薄膜,真空技术,氧化技术,扩散技术,微影技术
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简介:本文主要讲述薄膜材料的一些基本特点和在能源,军事以及其它方面的一些应用,并列举部分应用比较广泛的薄膜材料及现今前沿的薄膜材料和薄膜技术如光学薄膜中的太阳能薄膜,眼镜镀膜,抗反射膜及其他的一些耐腐蚀薄膜和电容薄膜,并阐述学习薄膜技..
文档关键字: 薄膜,应用,发展,意义,真空薄膜技术,薄膜材料,薄膜技术
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简介:综述了近几年国内外在薄膜制备技术方面的研究进展,着重比较了蒸发沉积、溅射沉积、激光沉积、CVD、MBE和Sol2Gel 等技术的优缺点,分析了这些技术在薄膜制备中应用前景。
文档关键字: 薄膜,制备技术,研究进展,薄膜制备技术
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简介:1 引言; 2 讨论; 2.1 真空薄膜淀积理论的研究概况; 2.2 常用真空薄膜淀积技术; 2.3 热氧化法(thermal Oxidation); 2.4 电镀法(plating); 2.5 物理淀积; 3 结论;
文档关键字: 薄膜淀积技术,,薄膜
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简介:详细叙述了硅基薄膜太阳能电池结构、工艺制造技术,a—Si沉积设备,并针对薄膜电池技术的发展现状。分析了薄膜电池引起波动和变化的原因,展望了BIPV薄膜电池在未来城市建筑中的应用前景。
文档关键字: 薄膜太阳能电池,非晶硅,转换效率,太阳能电池
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简介:优质纳米晶硅薄膜的低温制备技术及其在太阳能电池中的应用进展
文档关键字: 晶硅薄膜,纳米晶硅薄膜,低温制备技术,太阳能电池
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简介:气体的放电现象与等离子体; 物质的溅射效应和溅射产额; 各种各样的溅射技术;
文档关键字: 薄膜技术3-溅射技术,,薄膜技术,溅射技术
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