通信
电子级多晶硅的制作工艺
简介：就建设1000t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。
文档关键字： 多晶硅,三氯氢硅法,硅烷法,生产流程
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多晶Si太阳电池新型制绒工艺研究
简介：提出一种采用二次酸腐蚀的多晶Si制绒新方法,首先在HF/HNO3的富HNO3体系中对Si片进行一次腐蚀,之后在富HF体系中进行二次腐蚀,以优化表面织构,减少光在Si表面的反射损失。
文档关键字： 多晶硅,太阳电池,二次腐蚀,表面织构
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76_2mm无位错FZ硅单晶的两种工艺热场分析
简介：对国产设备试制及生产5> 7612mm无位错FZ硅单晶的两种最为稳定的工艺热场作了较全面的分析总结。
文档关键字： 硅单晶,无位错,FZ工艺
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PECVD法生长氮化硅工艺的研究
简介：采用了等离子体增强化学气相沉积法在聚 酰亚胺牺牲层上生长氮化硅薄膜,讨论沉积温度、射频功率、反应气体流量比等工艺参数对氮化硅薄膜的生长速率、氮硅比、残余应力等性能的影响,得到适合制作接触式射频 MEMS开关中悬梁的氮化硅薄膜的最佳工艺..
文档关键字： PECVD,氮化硅,聚酰亚胺,残余应力
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单晶硅电池生产工艺
简介：根据电阻率把电池分类。硅片常见电阻率分类0.5-6Ω·㎝，0.5-3 Ω·㎝ ，3-6 Ω·㎝。
文档关键字： 化学清洗,扩散刻蚀,制减反膜
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太阳能电池片工艺流程
简介：太阳能电池分为单晶电池和多晶电池，但是它们的结构基本一样，都有以下部分组成。
文档关键字： 工艺流程,单晶制绒,扩散测试
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PECVD工艺规程
简介：准备好已去磷硅玻璃的硅片：进行流程卡、生产批号、数量、待生产工序等内容的核对工作。对有疑问的待产品停止生产，并向有关人员进行反映。
文档关键字： 工艺规程,工艺参数,工艺操作
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电池行业用超纯水设备技术工艺
简介：电池行业用超纯水包括蓄电池生产用纯水，锂电池生产用纯水,太阳能电池生产用纯水，蓄电池格板用纯水。电池中电解液的配备对纯水要求十分严格, 通常要求水的电导率在0.1us/cm(电阻值在10兆欧姆)以上，传统用来制备电池用超纯水的工艺是常采用阴阳..
文档关键字： 膜分离技术,过滤工艺,EDI设备
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多晶硅的三大生产工艺的比较
简介：多晶硅的生产工艺：从西门子法到改良西门子法的演进是一个从开环到闭环的过程。
文档关键字： 生产工艺,多晶硅生产工艺,西门子法
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