通信
PECVD法生长氮化硅工艺的研究
简介：采用了等离子体增强化学气相沉积法在聚 酰亚胺牺牲层上生长氮化硅薄膜,讨论沉积温度、射频功率、反应气体流量比等工艺参数对氮化硅薄膜的生长速率、氮硅比、残余应力等性能的影响,得到适合制作接触式射频 MEMS开关中悬梁的氮化硅薄膜的最佳工艺..
文档关键字： PECVD,氮化硅,聚酰亚胺,残余应力
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单晶硅电池生产工艺
简介：根据电阻率把电池分类。硅片常见电阻率分类0.5-6Ω·㎝，0.5-3 Ω·㎝ ，3-6 Ω·㎝。
文档关键字： 化学清洗,扩散刻蚀,制减反膜
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太阳能电池片工艺流程
简介：太阳能电池分为单晶电池和多晶电池，但是它们的结构基本一样，都有以下部分组成。
文档关键字： 工艺流程,单晶制绒,扩散测试
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电池行业用超纯水设备技术工艺
简介：电池行业用超纯水包括蓄电池生产用纯水，锂电池生产用纯水,太阳能电池生产用纯水，蓄电池格板用纯水。电池中电解液的配备对纯水要求十分严格, 通常要求水的电导率在0.1us/cm(电阻值在10兆欧姆)以上，传统用来制备电池用超纯水的工艺是常采用阴阳..
文档关键字： 膜分离技术,过滤工艺,EDI设备
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多晶硅的三大生产工艺的比较
简介：多晶硅的生产工艺：从西门子法到改良西门子法的演进是一个从开环到闭环的过程。
文档关键字： 生产工艺,多晶硅生产工艺,西门子法
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多晶硅铸锭炉生产工艺控制技术和设备组
简介：多晶硅铸锭炉是太阳能光伏产业中，最为重要的设备之一。它通过使用化学方法得到的高纯度硅熔融，调整成为适合太阳能电池的化学组成，采用定向长晶凝固技术将溶体制成硅锭。这样，就可切片供太阳能电池使用。
文档关键字： 多晶硅铸锭炉,热交换法,热量置换
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高效太阳能电池的工艺流程
简介：硅片采用0.5~2Ω.cm，P型晶向为（100）的单晶硅片。利用氢氧化钠溶液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的特点来制备绒面。
文档关键字： 工艺流程,绒面制备,电池片测试
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磷吸杂工艺研究
简介：磷吸杂在晶体管芯片制造过程中对改善芯片表面态、减少漏电流等起着重要作用。文中确定了方块电阻为6-8Ω/□(欧姆/方块)的磷吸杂工艺条件,并对过程的相关影响因素进行分析和探讨,同时提出了解决方法。
文档关键字： 磷吸杂,晶体管,芯片制造
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