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游离磨料线锯切片流体动压效应的数值分析

游离磨料线锯切片流体动压效应的数值分析

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级别:| 积分:100 分 | 浏览:73849 | 大小:367.00KB | 下载:4082 次 | 上传:2013-10-23

简介:

集成电路(IC)是现代信息产业和信息社会的基础,绝大多数集成电路芯片都是以单晶硅片为基体材料制成的。用于制造IC的硅片不仅要求极高的平面度,极小的表面粗糙度值,而且要求表面无变质层,无划伤。

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