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国内外多晶硅生产的主要工艺技术、现状和发展趋势

国内外多晶硅生产的主要工艺技术、现状和发展趋势

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:74425 | 大小:57.96KB | 下载:4108 次 | 上传:2013-09-30

简介:

改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。

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