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双频激光干涉仪测试直线电机进给定位精度的研究

双频激光干涉仪测试直线电机进给定位精度的研究

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级别:| 积分:100 分 | 浏览:76193 | 大小:487.91KB | 下载:4896 次 | 上传:2013-05-14

简介:

应用双频激光干涉仪对直线电机进给的定位精度进行了测试" 在介绍双频激光干涉仪测量原理的基础上对直线电机进给定位精度测试方法作了详细的描述" 测试结果发现!直线电机进给的速度,加速度的变化对定位精度的影响不是很大" 利用最小二乘法对各点定位精度平均值进行分段线性拟合!并对直线电机进给的定位精度进行补偿!可以较大地提高直线电机进给的定位精度"

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