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硅片切割中的切斜技术

硅片切割中的切斜技术

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:73472 | 大小:18.50KB | 下载:4060 次 | 上传:2013-10-18

简介:

在硅片切割过程中,经常出现切斜的现象,大大影响硅片合格率。硅片切斜的原因多种多样,本文通过从钢线、导轮、砂浆等不同的方面进行切斜分析。

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