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光学镀膜宽带膜厚监控系统研究

光学镀膜宽带膜厚监控系统研究

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:66614 | 大小:16.00KB | 下载:3694 次 | 上传:2014-03-18

简介:

针对传统的宽带膜厚监控法存在精度低和灵活性不高的缺陷,文章提出了一种新的方法,在蒸镀过程中不断拟合更新镀层的色散系数(折射率)、膜厚等参数,而后根据所得数据不断修正设想的目标透射率(反射率),以克服传统的宽带膜厚监控法的缺陷,这就是基于修正膜层目标光谱特性的宽带膜厚监控系统。

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