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非晶硅薄膜的生长机理是怎么样的

非晶硅薄膜的生长机理是怎么样的

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级别:| 积分:60 分 | 浏览:74607 | 大小:230.00KB | 下载:4126 次 | 上传:2013-09-05

简介:

制备氢化硅薄膜是基于辉光放电的PECVD技术,在外界电场的激励下使反应气体电离形成等离子体。

         
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