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半导体废气处理技术实践

半导体废气处理技术实践

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:69609 | 大小:19.00KB | 下载:3841 次 | 上传:2013-10-28

简介:

依据这些废气的特性 ,在处理上采用水洗 、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法。在半导体制造厂 ,依照系统废气排放可分为:一般排气(GEX)、酸性排气 (SEX)、碱性排气 (AEX)和有机排气 (VEX)。针对不 同污染 物,可采取 以下综合处理方法。

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