您好,欢迎来到一览文库!找行业资料上一览文库!
一览( 微信公众号:yilanshequ )

一览( 微信公众号:yilanshequ )

打开微信扫一扫,即可直接关注

收藏我们 | 登录 | 注册
当前位置:一览文库> 环保水务 > 环保 > 废气治理 > 半导体废气处理技术实践
半导体废气处理技术实践

半导体废气处理技术实践

一览通:免费获取520份薪酬绩效文档

级别:| 积分:0 分 | 浏览:73929 | 大小:19.00KB | 下载:4081 次 | 上传:2013-10-28

简介:

依据这些废气的特性 ,在处理上采用水洗 、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法。在半导体制造厂 ,依照系统废气排放可分为:一般排气(GEX)、酸性排气 (SEX)、碱性排气 (AEX)和有机排气 (VEX)。针对不 同污染 物,可采取 以下综合处理方法。

[展开]
         
下载文档到电脑,查找使用更方便
需0积分下载

猜你喜欢

收藏 下载此文档 所需积分:0分