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硅片清洗的操作方法

硅片清洗的操作方法

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级别:| 积分:60 分 | 浏览:41633 | 大小:70.05KB | 下载:2272 次 | 上传:2013-09-16

简介:

由以上实验数据分析, 在清洗剂浓度较低时,不能达到良好的清洗效果, 切割过程中吸附到Si片表面的砂浆等沾污依然停留在 S i 片表面。

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