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多晶硅片在空气中暴露时间长短对清洗效果的影响

多晶硅片在空气中暴露时间长短对清洗效果的影响

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级别:| 积分:0 分 | 浏览:39793 | 大小:2.13MB | 下载:2200 次 | 上传:2013-12-05

简介:

本次试验验证硅片在空气暴露时间的长短对清洗效果的影响,试验一中硅片在空气中长时间暴露,已经风干,出现大量水印片,试验二中,硅片在空气中放置5分钟后清洗,出现面积较小的水印片。

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